双工位EFEM

3工位EFEM

4工位EFEM

frame&wafer EFEM

Lamina 205

8寸半导体设备前端模块 EFEM 8寸 Lamina Series 200mm Wafer EFEM

12寸半导体设备前端模块 EFEM 12寸 Lamina Series 300mm Wafer EF

6寸半导体设备前端模块 EFEM 6寸 Lamina Series 150mm Wafer EFEM