• 为了实现这一发展趋势,建议分选机系统使用隔离室,以减少从运输箱进入掩模装卸区的污染。
• 全自动掩膜/分线转移系统
• 一级清洁
• 集成电离器达到E78ESD"一级"标准
• 符合半标准S2/S8标准
• 旋转/翻模(旋转掩模0至360度;翻掩模0至180度)
• 自动化开箱器:150mm和200mm的小型开箱(单和多个),ASML,尼康,加农,霍亚,托潘,DNP,TMC,希内兹,DMS等,可在任何组合。
• 其他选择:BCR/OCR阅读器、rfid阅读器/编写器、转台、SASS/GEM接口

根据客户的最终转移需求、楼层空间和特殊设计需求,福得德提供了许多不同的配置。

对于层板200系列分选机系统而言,"时尚"认识到,在处理UV面罩时,系统内需要保持高标准的清洁度,而且需要处理不符合ISO1类清洁要求的运输箱中的标准面罩。