是一个自动化的小开瓶器设计来打开200mm单一和多个十字线的小开瓶器。在吊起豆荚罩后, 重新层保留在可以操作人员安全操作的POD表上。POM设计用于桌面应用,是一种快速安装和移除的全电气系统。一种可选择的专利基片映射技术,在基片处理操作中防止破损。带有操作联锁的分线突出传感器可以防止豆荚关闭突出的衬底。POD传感器检测到SMAFPOD的存在,并防止错误地损害设备和FAB之间的气流。

特点和好处:

第1班清洁程度

支持半兼容200mm小口径吊舱

所有方便安装的电气系统

底层突出传感器在操作过程中保护层层

用于操作人员和保护线安全的专利待发夹传感器

多台传感器消除操作错误

静态耗散透明板

规格

Weight: ~51 lbs.

Size: 13.25”w x 18.37”d x 27.50”h

周期时间:<10秒

50,000个周期

不足1小时

功率:1a最大,单相

50/60 Hz @ 115/240 VAC

通信:可选并行和序列

任择部门一/二

选项:绘图、rfid